報道関係各位
2020年 ８ 月 24日
低価格帯の新シリーズ登場
真空プラズマ装置「CPE-Bシリーズ 」 2020年 8月 24日発売
プラズマ経験者向 け全手動 制御
プラズマ装置のパイオニア、 株式会社 魁半導体（京都府京都市下京区、代表取締役 田口貢士）は、
当社 真空プラズマ装置 CPEシリーズに新たに低価格かつ均一な面処理が可能なラインナップ「 CPE-Bシリーズ」を開発、 2020年 8月24 日に発売します。
同シリーズはプラズマ処理条件を全て手動で設定するタイプの装置です。 プラズマ装置の経験者や扱いに慣れた技術者・研究者に向けて販売します。
【経験者用の低価格シリーズ 】
プラズマ技術への注目度と 利用分野 が拡大し 、プラズマ 装置を使い慣れた 技術者や研究者の方も増えています。
プラズマ利用経験者の中にはオート制御やセミオート制御を利用せず、都度条件を自身で設定する方も多くみられます。
一方、社会情勢の影響 によって 研究開発の現場では 経費 削減 を強く求められている声も聞かれます。
当社はプラズマ装置を長年利用されている 経験者 のニーズを捉えつつ安価で製品を提供するため、
制御システムをシンプルにした「 CPE-Bシリーズ」を新たに開発しラインナップ に加えます 。
当社はお客様が 導入しやすい価格設定と柔軟な手動制御の新シリーズを投入することで更なるプラズマ技術の普及拡大を狙います。
【全制御を手動 】
「CPE-Bシリーズ」はオート制御が無い全制御を手動で操作していただくタイプのシリーズ製品です 。
プログラマブルリレーなどの各パーツの基本的な連動性も全て省いたシンプル設計の装置です。
プラズマ処理能力は当社従来のCPEシリーズ同等の高い均一性と面処理が可能です。
製品例：CPE-100B
■真空プラズマ装置「CPE-Bシリーズシリーズ」製品概要■
[正式名称] 真空プラズマ装置真空プラズマ装置 「CPE-Bシリーズシリーズ」
[発売日] ２０２０年８月２４日
[特徴]
・全マニュアル
・カスタム対応
・シンプル設計で導入しやすい低価格
[用途用途] 親水化、接着強化、洗浄、エッチング、薄膜形成親水化、接着強化、洗浄、エッチング、薄膜形成など
[販売価格]
（例）ステージサイズφ100mm：400万円（税別）
ステージサイズφ400mm：920万円(税別)
ステージサイズφ1000mm：1730万円(税別)
[販売目標] 年間１００台
■製品概要
[仕様]
ステージサイズφ100mm「CPE-100B」の例
〈型式〉
CPE-100B
〈外形寸法〉
W392mm × D500mm ××H1050mm（突起含まず。上蓋閉時）
〈ステージ寸法〉
直径100mm
〈処理圧力調整〉
手動排気バルブおよびガス導入量による手動調整
〈真空計〉
アナログ表示ピラニ式真空計
〈ガス系統〉
1系統系統
〈電源〉
単相100V, 15A (50Hz/60Hz)
◆CPE-Bシリーズ 製品紹介ページ https://sakigakes.co.jp/cpe-b/
【お問合せ先】株式会社魁半導体 https://sakigakes.co.jp/
TEL：075-204-9589 ／／ FAX：：050-3488-5883 ／／ E-mail：s.sales＠＠sakigakes.co.jp
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