真空プラズマ（表面改質）装置はチャンバー内にプラズマを均一に生成し、処理ムラが少なく、
バッチ式で一括してドライ洗浄や表面改質を行う事ができます。
現在、半導体や電子部品・医療用途まで幅広い分野で使われています。

全手動のシンプル設計！研究者には最適！

PFCガスの代わりにフッ素樹脂を使って撥水加工を可能に。

板状、繊維状、フィルム状の対象物の表面改質・クリーニングに。

ラボ用途に最適な卓上タイプ真空プラズマ装置です。
ワンタッチフルオート機能、及び、オートリーク機能を搭載。
取扱いが非常に容易で、真空機器初心者でも扱えます。

様々なガス導入が可能な真空プラズマ装置。
ラボ用途に最適な卓上タイプ真空プラズマ装置です。
ガス流量調整・パワー調整・真空度モニター
取扱いが非常に容易で、真空機器初心者でも扱えます。

SiO2やSiのエッチングなど
半導体集積回路などの微細回路を作製

PTFE(テフロン)の親水化
各種素材の撥水処理
ガラス膜の形成　など

素材の撥水化
布や紙の防水、防汚、湿気対策
電子部品等の防水など