紛体の表面改質をおこなうプラズマ装置です。
カーボンナノチューブや炭素粉体、フィラーの前処理、
焼成紛体の前処理、その他ハイブリットマテリアルの開発などにお使い頂けます。

樹脂成型品の洗浄・接着前処理MEMSの洗浄等・乾式環境での粉体表面処理などに
粉体や小部品のエッチング・薄膜形成・撥水化・酸化還元

小型回転式真空プラズマ装置MUG-80

粉体や小部品のエッチング・薄膜形成・撥水化・酸化還元

プラズマを含んだガスで粉体を攪拌しながら満遍なく粉体の表面を改質する
事が可能となりました。
大気圧での処理であり、真空チャンバーを必要としないため【スケールアップも容易】
です。

簡易タイプ【ASS-400】

卓上タイプのコンパクトサイズ。
基礎研究用途にお勧めです。

本格研究用【PPU-800】

駆動機構を導入し大容量の処理が可能です。
量産化に向けた本格的な開発にお勧めです。