2020年4月7 日
報道関係各位
固体から発生したガスを使用
フッ素樹脂を使用した新しいプラズマ技術を実用化
環境負荷低減と現場の管理軽減
プラズマ装置を開発・販売する株式会社 魁半導体（京都府京都市下京区、代表取締役 田口貢士）は、PFCガス（フロンガスの一種）を使わず、固形フッ素樹脂を使ってプラズマ処理を行う新しい技術の実用化に成功しました。温室効果ガスを使用せず同等の処理効果が得られるため、今後、当社ではこの技術を応用したプラズマ製品の開発に取り組み、更に同技術に関する共同研究・共同開発も募ります。
■固体をガス化させる新しい発想
今回実用化に成功した技術は、PFCガスの代わりにPTFE（テフロン等）固体フッ素樹脂を用意し、先ずは樹脂をアルゴンや窒素といった扱い易いプラズマを照射することで、フッ素を含んだガスを発生させます。次に発生したガスを使ってプラズマ処理を行う新しい技術です。
■温室効果ガスを排出せず、取り扱いが容易に
プラズマ処理は使用するガスの種類によって効果が異なるため、処理対象物の素材に適したガスを使用します。例えば、半導体の製造工程にはPFCガスを使用したプラズマ処理の行程があり、シリコンのドライエッチングや薄膜形成、クリーニングなどが挙げられます。
PFCガスは強力な温室効果ガスであることから、取り扱う現場には煩雑な作業が求められます。
ガスの代わりとして固形のフッ素樹脂を使用することで環境負荷の低減になり、また持ち運びや 管理がしやすいなどプラズマ装置を使用する現場の負担も軽減することができます
当社は今後、同技術を応用した製品開発を検討し、同時に同技術を活用した共同研究・共同開発を幅広い分野で募り、各方面でのプラズマ技術の普及を図りたいと考えています。
技術の詳細については資料・動画でもご紹介しています。 ・資料）https://sakigakes.co.jp/wp-content/uploads/2020/04/20200324-PTFE.pdf ・説明動画）https://youtu.be/sTbc3LrcwYc
| 【お問合せ先】 株式会社 魁半導体 https://sakigakes.co.jp/
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