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回転式卓上真空プラズマ装置YHS-DφS

樹脂や硝子・金属等の表面改質や洗浄を行うプラズマ装置を小型化しました。卓上サイズです。 表面改質・洗浄・親水処理に高い処理効果 回転式チャンバーにより、表裏を一括処理 乾式環境で粉体の表面処理が可能 チャンバー内に回転可能な筒状の電極を配備 筒状電極と対向する中心部の電極に高周波を印加し放電 処理ワークは回転チャンバー内で転がり、表裏一括に処理が可能となる。

樹脂成型品の洗浄・接着前処理MEMSの洗浄等・乾式環境での粉体表面処理などに 粉体や小部品のエッチング・薄膜形成・撥水化・酸化還元

装置名称 回転式卓上真空プラズマ装置 型式 YHS-DφS 外形寸法 720mm(W)×450mm(D)×450mm(H) 重量 40kg 回転部 φ210×200mm(D) 電源出力 170W 出力調整 ガス系統 １系統(２系統はオプション) ガス制御方法 バルブ(マスフローコントローラーはオプション) 圧力調整 オプション 電源 100V,15A(50Hz/60Hz)