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小型回転式真空プラズマ装置MUG-80

真空チャンバー内に回転式の撹拌機構を導入 乾式で全面一括処理 グロー放電中で撹拌し、高い均一性を確保 回転式のためチップ等小部品を裏返す手間が不要

粉体や小部品のエッチング・薄膜形成・撥水化・酸化還元

装置名称 小型回転式真空プラズマ装置 型式 MUG-80 外形寸法 400mm(W)×353mm(D)×340mm(H) 重量 30kg 回転部 φ80×42mm(D) 電源出力 170W 出力調整 ガス系統 オプション ガス制御方法 オプション 圧力調整 オプション 電源 100V,15A(50Hz/60Hz)