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プラズマエッチャーCPE-200

■コンパクト ■簡単な操作性 ■タッチパネル操作(オート、マニュアル) ■高精度で無機物のエッチングが可能

SiO2やSiのエッチングなど 半導体集積回路などの微細回路を作製

装置名称 プラズマエッチャー 型式 CPE-200 外形寸法 510mm(W)×760mm(D)×1090mm(H) 放電部寸法 直径200mm(円形) 重量 電源出力 最大300W 出力調整 あり ガス系統 １系統(２系統はオプション) ガス制御方法 マスフローコントローラー 圧力調整 バルブ 電源 電源 AC100V,15A(50Hz/60Hz)

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