製品一覧 > 大気圧プラズマ > ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM 絶縁物上の金属を破壊せずに処理が可能です！ 表面改質：大気圧環境下において、電荷のダメージがないプラズマを安定に生成！ ワイヤーボンディング：強度の向上に最適です！ その他：バイオ・医療分野にも 製品の特徴 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。)■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。■推奨ガスは窒素のみ。 ■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。■ラボ用装置としてもご利用頂けます。■微細な表面処理に特化■メンテナンスも容易です。 設定台と組み合わせ 写真はペン型設置台 【ペン型架台】 トーチを設置台に取り付ける作業が可能■サイズ 高さ600mm×アーム長さ200mm■重量 2kg■価格 ￥8,800-(税別) 用途 ■ワイヤーボンディングの前処理 LSIにダメージを与えることなく、電極の表面を洗浄しボンディング性能を向上■ガラス基板洗浄 光学ガラスや電子デバイス製作用の基板に付着した有機物の洗浄■金属薄膜への処理 絶縁体上の金属薄膜へもダメージ無く親水化(コロナ放電では不可能) ペン先からプラズマ照射 仕様 品名 P500-SM プラズマペン 材質（本体） 樹脂、石英、金属（場合によってことなります） 耐圧（Mpa） 0.39 重量 （ｇ） 約700 外形寸法 （突起部含まず） （mm） 約φ28×約130 コントロール部 重量 （Kg） 約3 寸法 （mm） 160(W)×245(D)×110(H) 機能 オプションにてタイマー・流量計等を対応 取り扱い注意 許容温度範囲 -10℃～+60℃ 使用禁止薬液 有機溶媒 強塩基類 強酸類 強酸化材 使用ガス 窒素（アルゴン、空気） （用途によって仕様がことなります） 上記以外の仕様も対応いたします。お気軽にお申し付けください。 製品説明動画 製品設置・操作説明動画 関連資料 【技術資料】 ◇ペン型大気圧プラズマ装置のガス種及び照射距離依存性
