【製品】回転式小型真空プラズマ装置 YHS-DΦS

 

回転式小型真空プラズマ装置 YHS-DΦS
 

多くのお客様のご要望を頂き製品化致しました!!

樹脂や硝子・金属等の表面改質や洗浄を行うプラズマ装置を小型化しました。卓上におけるサイズとなっております。

樹脂成型品の洗浄・接着前処理MEMSの洗浄等・乾式環境での粉体表面処理などに

 
製品の特徴
  
 
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■表面改質・洗浄・親水処理に高い処理効果

■回転式チャンバーにより、表裏を一括処理

■乾式環境で粉体の表面処理が可能

■YHS-DOSを卓上におけるサイズにまで小型化

    
技術の説明
 


■チャンバー内に回転可能な筒状の電極を配備。

■筒状電極と対向する中心部の電極に高周波を印加し放電。

■処理ワークは回転チャンバー内で転がり表裏一括に処理が可能となる。

仕様
品名  YHS-DΦS 
 プロセス圧力 10~50Pa
真空計 電離真空計+ピラニーゲージ 
圧力制御 手動 
高周波電力 170W 
高周波電力制御 手動方式(手動マッチング方式) 
その他制御方式 手動方式 
電源 AC100V 15A 
回転数 回転数 0~100RPM 
排気能力 160/135 ( リットル/min ) 
POWER 0~15kV 
オプション ガスラインの追加
その他、ご希望の仕様をお申し付けください。