【製品】回転式小型真空プラズマ装置 YHS-DΦS

多くのお客様のご要望を頂き製品化致しました!!

樹脂や硝子・金属等の表面改質や洗浄を行うプラズマ装置を小型化しました。卓上におけるサイズとなっております。

樹脂成型品の洗浄・接着前処理MEMSの洗浄等・乾式環境での粉体表面処理などに

■表面改質・洗浄・親水処理に高い処理効果

■回転式チャンバーにより、表裏を一括処理

■乾式環境で粉体の表面処理が可能

■YHS-DOSを卓上におけるサイズにまで小型化

■チャンバー内に回転可能な筒状の電極を配備。

■筒状電極と対向する中心部の電極に高周波を印加し放電。

■処理ワークは回転チャンバー内で転がり表裏一括に処理が可能となる。