ガス導入タイプ:YHS-GZA250 様々なガス導入が可能な真空プラズマ装置。 ガス流量調整・パワー調整・真空度モニター緻密な処理条件の設定が可能です。 ワンタッチの簡易な操作性、導入しやすい安価な価格帯で提供致します。 表面処理 薄膜形成前の処理 陽極接合前の処理 塗装前の処理 その他 バイオ・医療分野にも 製品の特徴 イメージ ■ 各種ガスを導入 Ar,He, N, O など■圧力計搭載 チャンバー内の圧力を確認しながら処理がおこなえます。■ガス流量計 流量を調整しチャンバー内の圧力をコントロールできます。 ■ステージサイズφ250 少し大きなサンプルも処理する事が出来ます。 ■制御電源 電力量の調整でプラズマの生成量を調整可能。 オプション対応 ■ガス導入 ■ステージサイズ ■RFタイプ ※オプション料金にて承ります。詳しくはお問合せ願います。 仕様 品名 ＹＨＳ-R 外形寸法 （mm） 380(W)×434(D)×446(H) ステージ寸法 （mm） φ250mm power 600w 上下部電極材 ステンレス 許容温度範囲 -10℃~+60℃ ユーティリティ 100V、50/60Hz、5.0A 上記以外の仕様も対応いたします。お気軽にお申し付けください。
